SMC流量傳感器原理,**SMC流量傳感器
其原理是，如圖右側(cè)的圖中。 （a）當(dāng)所述氣體是靜態(tài)的，溫度
周圍的Rh中心加熱的氣體的分布是均勻的，和Ru和Rd具有相同的
阻力。 （b）當(dāng)該氣體從左側(cè)流入，它攪得溫度的平衡
分配加熱氣體，和Rd的電阻變得大于釕。
在釕和Rd之間的電阻差正比于氣體的速度，因此，測量
和電阻的分析可以顯示該氣體的流動方向和速度。
嶺用于補(bǔ)償?shù)臍怏w和/或環(huán)境溫度。
操作：0?50℃，存儲：-10?60°C（無結(jié)冰，凝露）
經(jīng)營，儲存：35?85％RH（無冷凝）

SMC流量傳感器原理,**SMC流量傳感器

12至24伏直流（脈動±10％或更小）（與極性保護(hù)）
遲滯模式：可變，窗口比較器模式：可變
開關(guān)量輸出：2毫秒（10毫秒，50毫秒，0.5秒，1秒可以選擇。）
50MΩ以上（500萬VDC）整個充電部分，帶電部件之間
10至150赫茲用1.5毫米的振幅或98米/秒2的加速度，
在每個X，Y，Z方向進(jìn)行2小時(shí)，以較小者為準(zhǔn)（縮小
這是當(dāng)設(shè)定值設(shè)定為90％至0至100％的階躍輸入的響應(yīng)。
注3）自動換檔功能被關(guān)閉，在從說明書出貨的時(shí)間。
自動轉(zhuǎn)向功能后，使用它打開使用按鈕。
這種MEMS傳感器芯片由上游側(cè)測溫傳感器（RU）和下游的
SMC流量傳感器原理,**SMC流量傳感器